Sensoren voor de halfgeleiderindustrie

TE Instrumentation ondersteunt fabrikanten, OEMs, systeemintegratoren en engineeringteams in de Nederlandse halfgeleiderindustrie met druk- en temperatuursensoren voor kritische procesapparatuur. Als exclusief distributeur van Setra en GEMS in Nederland en producent van Thermo Electric temperatuursensoren combineren wij productselectie met technische toepassingskennis.

De oplossingen op deze pagina zijn relevant voor onder meer ultra-high-purity gasdistributie, gas cabinets, valve manifold boxes, gas sticks, purge-gassystemen, procesapparatuur, lektesten, testopstellingen en temperatuurprofilering. De juiste uitvoering wordt altijd geselecteerd op basis van het medium, meetbereik, zuiverheidseisen, procesaansluiting, uitgang en integratie in de machine of installatie.

Drukmeting in semiconductor gas- en processystemen

Halfgeleiderproductie gebruikt bulk- en specialistische gassen die via een gas-distribution system naar de procesapparatuur worden geleid. Drukmeting kan nodig zijn in gas cabinets, distributiepanelen, valve manifold boxes, gas sticks, purge-gasleidingen en bij het procesgereedschap zelf. Stabiliteit, materiaalcompatibiliteit, eenvoudige purging en beperking van contaminatierisico’s zijn daarbij belangrijke selectiepunten.

Setra beschrijft druktoepassingen in de volledige gasdistributieketen, van bulk- en specialiteitsgas tot procesapparatuur. Ook load-lock drukbeheer, in-situ procesmeting en lektesten behoren tot de toepassingsgebieden. TE Instrumentation helpt deze meetbehoefte te vertalen naar een technisch passende sensor en configuratie.

Setra Model 225 voor ultra-high-purity gasdruk

Setra Model 225 is de primaire Setra-oplossing binnen dit cluster voor high-purity gasdistributie en semiconductorprocessen. De druktransducer is ontworpen voor ultra-clean toepassingen waarin stabiele meting en contaminatiebeheersing belangrijk zijn.

Belangrijke ontwerpkenmerken uit de actuele Setra-productinformatie zijn:

• Een laag intern holtevolume om de kans op deeltjesinsluiting te beperken en purging te ondersteunen.
• Mediumcontactdelen van 316L VIM/VAR roestvast staal.
• Massaspectrometer-heliumlektest van iedere sensor.
• Face-seal procesaansluitingen en andere beschikbare fittingopties.
• Keuze uit spannings- en stroomuitgangen voor integratie in besturings- en meetsystemen.
• Capacitieve meettechnologie met hoge stabiliteit en weerstand tegen EMI/RFI-invloeden.

Een definitieve Model 225-configuratie hangt af van druktype, drukbereik, gas, proceszuiverheid, aansluiting, elektrische uitgang en installatie-eisen. Stuur uw specificatie voor beoordeling.

Bekijk de Setra Model 225 productpagina

\n\n

Model ASL voor nauwkeurige drukverschil- en lektesten

Setra Model ASL meet lage drukverschillen met hoge nauwkeurigheid. Het product is primair bedoeld voor veeleisende test- en meettoepassingen en is niet uitsluitend een semiconductorproduct. Binnen semiconductor equipment kan ASL relevant zijn voor gekwalificeerde toepassingen zoals lektestsystemen, filterdruk, part-integrity testing en nauwkeurige testopstellingen.

De actuele Setra-informatie noemt onder meer hoge overdrukbestendigheid, SecureCal-kalibratie, uni- en bidirectionele uitvoeringen en verschillende druk- en elektrische aansluitingen. De technische geschiktheid moet per meetpunt worden beoordeeld.

Model 270 voor barometrische, absolute en relatieve druk

Setra Model 270 is een nauwkeurige analoge sensor voor barometrische, absolute en relatieve druk. De keramische SETRACERAM-meetelementtechnologie is ontworpen voor stabiele meting en lage hysterese. In de halfgeleideromgeving kan Model 270 worden overwogen voor omgevingsmetingen, test- en kalibratiesystemen of andere toepassingen waarin dit druktype technisch nodig is.

Model 270 is geen ultra-high-purity procesgassensor; die rol ligt binnen dit cluster primair bij Model 225. TE Instrumentation helpt voorkomen dat een nauwkeurig instrument voor het verkeerde druktype of medium wordt geselecteerd.

Thermo Electric temperatuursensoren voor semiconductorprocessen

Naast drukmeting ontwerpt en produceert TE Instrumentation Thermo Electric spike- en profielthermokoppels voor de halfgeleider- en zonne-energie-industrie. Deze sensoren worden gebruikt om temperatuurprofielen en temperatuurverschillen op meerdere meetpunten vast te leggen.

Beschikbare ontwerpkenmerken omvatten enkelvoudige keramische isolatiemofjes tot tien kanalen, positieve en negatieve thermokoppeldraden over de volledige lengte, robuuste constructies, nauwkeurige positionering van meetpunten en ontwerpen die decontaminatie ondersteunen. De semiconductor thermokoppels worden in een dedicated cleanroom geproduceerd.

Bekijk spike- en profielsensoren
Bekijk semiconductor spike- en profielthermokoppels

Aanvullende GEMS sensoren en regelcomponenten

Het bredere GEMS-assortiment bevat sensoren voor druk, flow, niveau en temperatuur, plus solenoid valves en elektronische regelcomponenten. Deze producten kunnen een aanvullende rol spelen in ondersteunende vloeistof-, koeling- of apparatuurfuncties. Voor high-purity of procesgasgebruik wordt nooit alleen op productfamilie geselecteerd; materiaalcompatibiliteit en de volledige processpecificatie moeten eerst worden beoordeeld.

Bekijk Setra Systems
Bekijk druktransducers en druksensoren
Bekijk GEMS sensoren en regelcomponenten
Bekijk GEMS flowsensoren
Bekijk GEMS niveausensoren
Bekijk GEMS magneetventielen

Welke informatie hebben wij nodig?

Stuur bij een aanvraag zo veel mogelijk van de volgende gegevens mee:

• Toepassing en positie van het meetpunt.
• Gas of ander medium en vereiste materiaalcompatibiliteit.
• Druktype: relatief, absoluut, barometrisch of differentieel.
• Normaal meetbereik, maximale druk en mogelijke overdruk.
• Zuiverheids-, cleanroom- en contaminatie-eisen.
• Proces- en elektrische aansluiting, uitgangssignaal en voeding.
• Omgevingstemperatuur, montage en beschikbare ruimte.
• Aantallen, projectfase en bestaande type- of onderdeelcodes.

Veelgestelde vragen

Technische broninformatie: Setra semiconductor pressure measurement en Setra Model 225.